宣贯培训(2026年)《GBT 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》长文.pptxVIP

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目录

一、洞悉微观世界之钥：深度剖析GB/T26113标准如何奠定MEMS技术质量与可靠性的基石，并前瞻其在未来智能感知时代的核心价值与战略地位

二、从蓝图到精微现实：专家视角系统解读标准中MEMS微几何形貌特征参数量化体系的构建逻辑、核心定义与未来精细化测量需求

三、微观尺度下的“火眼金睛”：探究标准推荐的先进测量技术原理、适用场景与发展趋势，破解MEMS三维纳微结构精准表征的行业难题

四、超越尺寸与形状：深度解构表面粗糙度、波纹度等微纳尺度形貌参数在MEMS器件性能预测与工艺优化中的关键作用与应用边界

五、误差的微观博弈：专业解读MEMS测量中各类