过滤电弧离子镀TiN薄膜：制备工艺、性能表征与微观结构解析.docx

过滤电弧离子镀TiN薄膜：制备工艺、性能表征与微观结构解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与工程领域，薄膜材料因其独特的性能和广泛的应用前景而备受关注。氮化钛（TiN）薄膜作为一种典型的过渡金属氮化物薄膜，凭借其高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、良好的化学稳定性以及独特的金色外观，在众多领域展现出巨大的应用价值。

在切削刀具领域，TiN薄膜被广泛应用于涂层刀具。刀具表面涂覆TiN薄膜后，其硬度和耐磨性大幅提高，能够有效减少刀具的磨损，延长刀具的使用寿命，提高切削加工的精度和效率。据统计，在刀具行业中，80％的加工量由涂层刀具完成，而其中80％是TiN涂层。在模具制