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硅微陀螺仪小型化技术与测控电路的深度探索与创新研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，硅微陀螺仪作为一种关键的微型惯性传感器，凭借其独特的优势在众多领域中占据着举足轻重的地位。从日常生活中广泛使用的智能手机、平板电脑，到工业生产里的自动化设备，再到对精度和可靠性要求极高的航空航天、国防军事等领域，硅微陀螺仪都发挥着不可或缺的作用。

硅微陀螺仪的工作原理基于科里奥利力效应，当一个振动物体在旋转体系中受到外部角速度作用时，会产生与角速度成正比的科里奥利力，导致物体在垂直于驱动力方向上产生微小震荡，通过测量这种横向震荡带来的物理量变化，如电容、电荷或电磁感应等，便可以精