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原子层沉积构筑纳米薄膜与复合结构及其在微电储能领域的创新应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，纳米材料凭借其独特的物理和化学性质，在众多领域展现出巨大的应用潜力，成为了科研和产业界的研究焦点。其中，纳米薄膜和纳米复合结构因其在微电子和储能器件等关键领域的重要应用，备受关注。原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD）技术作为一种高精度的纳米材料制备技术，为纳米薄膜和纳米复合结构的制备提供了强有力的手段，在相关领域的发展中发挥着举足轻重的作用。

随着信息技术的不断进步，微电子器件正朝着更小尺寸、更高性能、更低功耗的方向发展。从早期的集成电路到如