多弧离子镀制备TiCN基硬质复合涂层及其性能的深度剖析与应用探索.docx

多弧离子镀制备TiCN基硬质复合涂层及其性能的深度剖析与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，材料表面性能的优化对于提升产品质量、延长使用寿命以及降低生产成本至关重要。多弧离子镀技术作为一种先进的物理气相沉积（PVD）方法，在材料表面改性领域展现出独特的优势，自20世纪60年代被提出后，经历了不断的发展和完善。1963年，D.M.Mattox首次提出了真空离子镀膜的概念并开展相关实验，为多弧离子镀技术的发展奠定了基础。随后在70年代，相关技术研究取得重要进展，如Chamber等人发表电子束离子镀技术，以及反应蒸发镀（ARE）技术出现并成功制备TI