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MEMS正交双通道微波相位检测系统：从设计、制备到测试的全面解析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术在众多领域中展现出了巨大的潜力和应用价值。MEMS技术是一种融合了微电子学、微机械学、材料科学等多学科的前沿技术，它能够将微型化的机械结构、传感器、执行器以及电子电路集成在一个微小的芯片上，实现了器件的小型化、智能化和多功能化。在微波领域，MEMS技术的应用为微波器件和系统的发展带来了新的机遇和突破，使得微波系统能够在更小的体积、更低的功耗下实现更高的性能。

正交双通道微波相位检测系统在现代通信、雷达、电子对抗等领域中起着至关重要的作用。相位检测