椭圆偏光法 原理标准立项修订与发展报告.docx

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《椭圆偏光法原理》标准制定与发展研究报告

EnglishTitle:ResearchReportontheDevelopmentandStandardizationofthePrinciplesofEllipsometry

摘要

随着纳米科技、半导体工业、先进光学及生物医学等前沿领域的飞速发展，对薄膜材料与表面界面特性的精确、无损表征提出了前所未有的高要求。椭圆偏振测量法（简称椭圆偏光法）作为一种基于光与物质相互作用原理的先进光学测量技术，以其亚纳米级的高精度、高灵敏度以及对材料光学常数（如折射率、消光系数）和薄膜厚度的非破坏性测量能力，已成为上述领域不可或缺的