CN111308126A 一种增大质量块的电容式三轴加速度计及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111308126A

(43)申请公布日2020.06.19

(21)申请号201911256379.1

(22)申请日2019.12.10

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人冯堃张国俊王姝娅

(51)Int.CI.

GO1P15/125(2006.01)

GO1P15/18(2013.01)

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种增大质量块的电容式三轴加速度计及其制作方法

(57)摘要

CN111308126A本发明公开一种增大质量块的电容式三轴加速度计及其制作方法，所述的微加速度计采用SOI硅片制成，包括惯性质量块、敏感结构、外联电极三部分。惯性质量块为中心对称的米字型结构，包括中心的主质量块，以及延伸出的8个矩形质量块，矩形质量块的另一端通过梁连接锚点。矩形质量块两侧设置有可动梳齿电极，可动梳齿电极与外侧的固定梳齿电极构成敏感结构。外联电极包括锚点电