《GBT+29056-2025 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》练习题试卷及参考答案.pdfVIP

《GBT+29056-2025硅外延用三氯氢硅中杂质含量的

测定电感耦合等离子体质谱法》练习题试卷及参考

答案

一、单选题（共15题，每题2分，共30分）

1.GB/T29056—2025标准所替代的旧版标准是哪个？

A.GB/T29056—2005

B.GB/T29056—2012

C.GB/T29056—2016

D.GB/T29056—2020

2.根据标准第1章范围，本方法适用于测定下列哪个等级的硅外延用三氯氢硅？

A.所有工业级产品

B.特定工艺段的产品

C.所有半导体用电子级产品

D.硅外延用三氯氢硅（隐含要求为高纯级）

3.标准第5章“干扰因素”强调，为防止三氯氢硅与水分反应，采样后应如何操

作？

A.立即置于冰箱冷藏

B.立即加盖密封并及时测定

C.进行真空包装

D.加入稳定剂后常温保存

4.根据表1（见文档），下列哪个元素的测定下限最低？

A.钒(V)

B.钴(Co)

C.钼(Mo)

D.锂(Li)

5.方法原理（第4章）中，残留的二氧化硅用哪种酸溶解转化为四氟化硅挥发除

去？

A.硝酸

B.盐酸

C.氢氟酸

D.硫酸

6.对洁净室（6.3）和超净工作台（6.4）等级的规范，分别引用了GB/T25915.1—

2021规定的哪个级别？

A.洁净室ISO7级，超净工作台ISO6级

B.洁净室ISO6级，超净工作台ISO5级

C.洁净室ISO5级，超净工作台ISO4级

D.洁净室ISO4级，超净工作台ISO3级

7.所有器皿和试剂瓶采用的耐腐蚀、低沾污材质，主要是什么？

A.聚丙烯(PP)

B.玻璃

C.聚四氟乙烯(PTFE)或全氟烷氧基树脂(PFA)

D.聚乙烯(PE)

8.根据10.2“试料”要求，称取样品的质量范围是多少？

A.1g~5g

B.5g~10g

C.15g~30g

D.30g~50g

9.测定时，标准要求平行试验的次数是多少？

A.不做要求，单次测定即可

B.平行做两次试验，取平均值

C.平行做三次试验，剔除离群值后取平均值

D.平行做五次试验，计算标准偏差

10.分析试液制备（10.6）时，为保护试料缓慢挥发，使用了何种气体环境？

A.氩气

B.氮气

C.高纯氮

D.清洁空气

11.根据11章“精密度”要求，当杂质元素含量0.10ng/g~1.00ng/g时，单

个实验室测定的相对标准偏差（RSD）应不大于多少？

A.5%

B.10%

C.15%

D.20%

12.试验数据处理公式（公式1)中，$c_i$与$c_0$的差值代表什么？

A.样品总质量中杂质元素的净质量

B.样品溶液与空白溶液中杂质元素净质量浓度

C.工作曲线的斜率

D.仪器的最低检测限

13.标准规定，试验报告应至少包括多少项内容？

A.5项

B.6项

C.7项

D.8项

14.下列哪项不是标准文本中列出的主要技术变化？

A.增加了锂、钠等元素的测定

B.更改了测定范围

C.增加了干涉条件

D.增加了样品常温保存的要求

15.分析试液中加入的甘露醇溶液（7.4）的主要作用是什么？（结合方法原理推

断）

A.调节pH值

B.作为增溶剂

C.抑制硼的挥发损失

D.作为内标物

二、多选题（共10题，每题3分，共30分）

1.根据标准前言，与GB/T29056—2012相比，除了增加测定元素，此次修订在

技术内容上还包括哪些主要变化？（）

A.更改了方法原理

B.增加了干扰因素

C.增加了试验条件

D.增加了样品采样的要求

E.增加了精密度要求

2.以下哪些元素是本标准2025版新增的测定对象？（）

A.锂(Li)

B.钠(Na)

C.钾(K)

D.钙(Ca)

E.镓(Ga)

3.标准第5章“干扰因素”中列出了哪些可能影响测定结果的因素？（）

A.双原子离子、多原子离子干扰

B.基体效应

C.背景噪声

D.交叉污染

E.实验室环境湿度

4.对于试剂和材料（第7章），以下哪些是正确的要求？（）

A.超纯水需符合GB/T11446.1—2013中EW-I级

B.硝酸溶液浓度为(1+99)

C