CN111208649A 一种具有检测功能的衍射光学镜片及其制作方法 （苏州中为联创微纳制造创新中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111208649A

(43)申请公布日2020.05.29

(21)申请号202010137061.8

(22)申请日2020.03.02

(71)申请人苏州中为联创微纳制造创新中心有限公司

地址215123江苏省苏州市工业园区金鸡

湖大道99号苏州纳米城20幢522室

(72)发明人王敏锐孙旭

(74)专利代理机构苏州简理知识产权代理有限公司32371

代理人杨瑞玲杨晓东

(51)Int.CI.

GO2B27/42(2006.01)

GO6K9/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种具有检测功能的衍射光学镜片及其制

作方法

(57)摘要

CN111208649A本发明公开了一种具有检测功能的衍射光学镜片及其制作方法，包括：石英薄片，其被设置的接收来自外部设备的光束，所述石英薄片具有上表面以及与所述上表面相对设置的下表面，所述上表面具有衍射光栅，所述下表面具有若干凹槽；金属电阻，其被设置的检测所述石英薄片的电导率，所述金属电阻嵌入所述凹槽内；所述外部光束自所述衍射光栅的一侧穿透所述石英薄片照射在被识别物体上，当所述石英薄片破损时，石英薄片的电导率发生变化，所述金属电阻根据检测到的电导率变化控制外部设备停止发

CN111208649A

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CN111208649A权利要求书1/1页

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1.一种具有检测功能的衍射光学镜片，其特征在于，包括：

石英薄片(7),其被设置的接收来自外部设备的光束，所述石英薄片(7)具有上表面(71)以及与所述上表面(71)相对设置的下表面(72),所述上表面(71)具有衍射光栅(711),所述下表面(72)具有若干凹槽；

金属电阻(8),其被设置的检测所述石英薄片(7)的电导率，所述金属电阻(8)嵌入所述凹槽内；

所述外部光束自所述衍射光栅(711)的一侧穿透所述石英薄片(7)照射在被识别物体(1)上，当所述石英薄片(7)破损时，石英薄片(7)的电导率发生变化，所述金属电阻(8)根据检测到的电导率变化控制外部设备停止发射光束。

2.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述若干凹槽在所述石英薄片(7)的下表面(72)呈点状分布，

所述下表面(72)上与所述衍射光栅(711)相对应的位置为透光区域(721),所述透光区域(721)无所述凹槽；

所述凹槽远离所述透光区域(721),且所述凹槽靠近所述石英薄片(7)的边缘。

3.根据权利要求2所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述凹槽集中分布在所述石英薄片(7)的四周。

4.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述若干凹槽在所述石英薄片

(7)的下表面呈阵列分布，所述阵列分布包括网格分布，所述网格包括多边形网格，所述凹槽与所述多边形网格的边一一对应设置。

5.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述金属电阻(8)与所述凹槽一一对应，所述金属电阻(8)的形状与所述凹槽的形状一致；

所述金属电阻(8)在所述石英薄片(7)的下表面(72)形成连续的金属电阻网络回路。

6.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述金属电阻(8)包括纳米银和石墨烯；

所述纳米银和石墨烯通过印旋涂和/或喷涂的方式填充在所述凹槽内形成所述金属电阻(8)。

7.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述凹槽的形状包括圆形、椭圆形、矩形、三角形和贝壳形。

8.一种具有检测功能的衍射光学镜片的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1:清洗带有完整衍射光栅(711)的石英薄片(7),在所述石英薄片(7)刻有衍射光栅(711)的一面的相对面进行光刻显影处理，在所述石英薄片(7)上对若干凹槽进行预定位；

S2:按照步骤S1在所述石英薄片(7)上获得的预定位，对石英薄片(7)进行刻蚀，在所述石英薄片(7)上表面制得若干凹槽；

S3:在步骤S2制得的若干凹槽内涂覆银浆，对所述银浆进行预固化，获得初步成型的金属电阻(8);

S4:对步骤S3获得的初步成型的金属电阻(8)进行去胶处理，形成初步成型的金属电阻网络回路，对所述金属电阻网络回路进行固化处理，获得成型金属电阻网络回路。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，对于步骤S3,所述涂覆银浆包括喷涂和旋涂。

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