BOSCH 博世 多次热氧化削减硅通孔内壁扇贝纹 说明书.pdf

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第50卷第6期人工晶体学报Vol.50No.6

2021年6月JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALSJune,2021

多次热氧化削减硅通孔内壁扇贝纹

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