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MEMS微波信号相位检测器系统级模拟：原理、建模与优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今信息时代，通信技术以前所未有的速度蓬勃发展，广泛应用于无线通信、雷达、卫星通信等关键领域。微波信号作为信息传输的重要载体，其相位信息对于信号处理和通信系统的性能起着决定性作用。相位检测器作为精确获取微波信号相位的核心部件，在这些应用中占据着举足轻重的地位。随着通信技术向更高频段、更高速率、更低功耗以及小型化方向不断迈进，对微波信号相位检测器的性能提出了极为严苛的要求，高精度、小型化、低功耗的微波信号相位检测器成为研究热点和发展趋势。

MEMS（微机电系统）技术作为一种前沿的制造微小机械结构的方法，在