宣贯培训(2026年)《GBT 16524-1996光掩模对准标记规范》.pptxVIP

《GB/T16524-1996光掩模对准标记规范》(2026年)宣贯培训

目录一、探索微纳制造基石：深度剖析GB/T16524-1996光掩模对准标记规范的当代价值与未来十年战略意义二、从图纸到晶圆：专家视角解读对准标记设计核心原则及其在提升套刻精度中的决定性作用三、规范之眼：深度解构标准中各类对准标记的形貌、尺寸与布局要求，筑牢光刻工艺基准线四、跨越尺寸鸿沟：前瞻性分析亚微米至深亚微米时代对准标记制造与检测的关键技术挑战与应对五、质量的生命线：系统阐述基于标准要求的对准标记检测方法、评价体系与合格判定准则六、误差的溯源与征服：深度探讨工艺波动对准标记质量的影响机理及其控制策略专家