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真空烤盘炉市场前景

真空烤盘炉设备为LED制造行业的一种新型的真空设备，与MOCVD设备配套

使用，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行

干式清洗（清洗气体：N2，H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂层石

墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的

目的。

在实际正常的生产过程中每两至三台MOCVD设备需配一台真空烤盘炉，目前

国内基本没有生产MOCVD设备的能力，几乎完全依靠进口，据调查2011年国内

MOCVD的需求量大约为1400台，意味着对真空烤盘炉的需求量大约是500~600

台之间。目前的真空烤盘炉大都依靠于台湾的进口，其中台湾文生企业及台湾臻

龙企业生产的真空烤盘炉占国内市场90%以上，但目前台湾厂家生产的设备周期

及数量远远不能满足国内LED生产商的需求，真空烤盘炉的国产化生产势在必

行。真空烤盘炉的市场在国内厂家生产的占有量比较少，只有青岛尚瑞晶电设备

技术有限公司研制开发出了该种设备并已经成功地在山东浪潮集团投入使用，另

外国内最大的半导体设备生产厂家北京七星华创微电子设备有限公司也在研制

该产品，但没有形成产品，处于研制阶段。

青岛尚瑞晶电设备技术有限公司生产的真空烤盘炉与台湾文生企业及台湾

臻龙企业生产的该类设备相比较，存在各方面的优势：

一、价格优势

台湾生产的设备面向中国大陆属进口设备，各种附加值高，导致产品价格比

国内的要高出20%左右。

二、供应周期

台湾设备的生产周期最短为6个月，而青岛尚瑞晶电设备技术有限公司生产

的真空烤盘炉的生产周期最多为4个月，大大缩短了生产周期，为工艺生产客户

厂家节约了宝贵的时间。

三、售后服务

青岛尚瑞晶电设备技术有限公司的售后服务承诺为接到通知后24小时内到

达服务现场，作为进口设备是很难做到的。

四、操作方便

独特的系统设计，全自动化的操作方法，计算机自动记录相关数据，便于追

溯。良好的人机界面使操作人员更加易于操作。

五、可靠性高

主要器件全部依赖进口，包括干泵机组、真空测量、压力测量、温度控制、

程序控制器、气动元件等都是进口器件，真空室材料采用优质不锈钢材料自动焊

接工艺，保证了设备的高可靠性。

六、生产效率提高

每炉工艺可烘烤8盘能容纳49片2英寸外延片的石墨盘，提高了生产效率。

高效的清洗杂质能力，大大延长了承受器的使用寿命。