单腔体双振子压电泵结构设计
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摘要
本次设计的对象为单腔双振子压电泵。该泵的两个振子采用错位结构,使用伞型橡胶阀作为截止阀。制作试验样机,研究在不同工作频率下,不同驱动形式对单腔双振子压电泵的输出性能的影响和输送不同介质时压电泵的输出情况。
本次设计中采用基板直径为35mm、陶瓷直径为29mm压电单晶片振子,建立了压电振子振动的力学模型,确定了压电泵初始容积为3.4×10-7m3,在80V电压的驱动下的容积变化量为7.5×10-8m3。
在实验中,分别对不同频率下,同步驱动和异步
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