CN1744293B 薄膜晶体管的制作方法 （台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN1744293B

(45)授权公告日2011.06.08

(21)申请号200410074226.2

(22)申请日2004.09.03

(73)专利权人台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会

地址中国台湾新竹县

专利权人中华映管股份有限公司

友达光电股份有限公司

广辉电子股份有限公司

瀚宇彩晶股份有限公司

奇美电子股份有限公司

财团法人工业技术研究院统宝光电股份有限公司

(72)发明人周麟恩蔡家豪刘舜逢

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127

代理人王一斌

(51)Int.CI.

HO1L21/336(2006.01)

HO1L21/84(2006.01)

HO1L29/786(2006.01)

(56)对比文件

CN1155158A,1997.07.23,全文.

CN1518774A,2004.08.04,全文.

WO2004/059718A1,2004.07.15,全文.WO03/034502A1,2003.04.24,全文.

US2003/0168639A1,2003.09.11,全文.

审查员林昭春

权利要求书1页说明书4页附图6页

(54)发明名称

薄膜晶体管的制作方法

(57)摘要

CN1744293B本发明是一种薄膜晶体管的制作方法，所述薄膜晶体管的制作方法是利用压印技术，在模版上以金属或金属氧化物按预定图案制作出不透光凸块，将感光材料涂布在基板，以该模版压印该基板时，提供紫外光固化该感光材料，分离模版与基板后，再利用化学溶液去除该基板上未固化的感光材料；借此，经由具有该不透光凸块的该模版

CN1744293B

CN1744293B权利要求书1/1页

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1.一种薄膜晶体管的制作方法，所述薄膜晶体管的制作方法是包括：

置备一玻璃基板；

涂布制作一层负型感光材料于该玻璃基板上，该负型感光材料为半导体材料、导体材料或绝缘材料；

置备一透光模版，该透光模版是按一预定图案布设有不透光凸块；

下压该透光模版至该玻璃基板；

利用紫外光曝光固化定型该负型感光材料；

分离该透光模版与该玻璃基板，提供化学溶液清洗并去除因该不透光凸块遮蔽而未固化定型的该负型感光材料；

借此，经由具有该不透光凸块的该透光模版压印并固化定型该半导体材料、导体材料和绝缘材料，可形成所需的薄膜晶体管。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：以旋转涂布制作该层负型感光材料。

3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该透光模版是压迫该负型感光材料有一预定深度。

4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该透光模版为玻璃或石英，该不透光凸块为金属材料。

5.根据权利要求4所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：设置一附着层于该不透光凸块与该透光模版之间，该附着层的热膨胀系数是介于该不透光凸块与该透光模版之间。

6.根据权利要求5所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该附着层是由该金属材料形成的金属氧化物材料所制成。

7.根据权利要求6所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该金属材料为铬、钼或钨，该金属氧化物材料为铬、钼或钨所形成的氧化物。

8.根据权利要求4所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：镀上一层与该负型感光材料有相斥性的脱膜层于该金属材料之上。

9.根据权利要求8所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该脱膜层为铁氟龙。

10.根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：在下压透光模版之前是以一感光元件对准该透光模版与该玻璃基板。

11.根据权利要求10所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该感光元件为感光耦合元件或互补性氧化金属半导体元件。

CN1744293B说明书1/4页

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薄膜晶体管的制作方法

技术领域

[0001]本发明是有关于一种薄膜晶体管的制作方法，尤其是有关于一种可取代半导体制程的薄膜晶体管的制作方法。

背景技术

[0002]一般传统薄膜晶体管的制作方法是利用半导体制程技术来达成，其中包括薄膜、黄光、蚀刻等技术，其制作时间耗费过长、且制作设备费用高昂等问题，常为时人所诟病。

[0003]传统半导体制程，必须先利用化学气