1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

《碳化硅用高温高能离子注入机铝离子源技术规范》.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约1.21万字
  • 约 8页
  • 2026-02-25 发布于河南
  • 举报

《碳化硅用高温高能离子注入机铝离子源技术规范》.pdf

    ICS31.080.99

    CCSL97

    CMEEEA

    团体标准

    T/CMEEEAXXXX—2026

    碳化硅用高温高能离子注入机铝离子源

    技术规范

    Technicalspecificationsforaluminumionsourceofhigh-temperatureand

    high-energyionimplanterforsiliconcarbide

    （征求意见稿）

    2026-XX-XX发布2026-XX-XX实施

    中国机电设备工程协会  发布

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >