CN108414594A 以不含蚀刻性溶剂制造的生物感测试片及其制作方法 （琦芯科技股份有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108414594A

(43)申请公布日2018.08.17

(21)申请号201710173723.5

(22)申请日2017.04.10

(30)优先权数据

1061043912017.02.10TW

(71)申请人琦芯科技股份有限公司

地址中国台湾新竹科学工业园区苗栗县竹

南镇科研路50-7号1楼

(72)发明人许国诚苏建豪

(74)专利代理机构上海德昭知识产权代理有限公司31204

代理人郁旦蓉

(51)Int.CI.

G01N27/327(2006.01)

权利要求书2页说明书4页附图5页

(54)发明名称

以不含蚀刻性溶剂制造的生物感测试片及其制作方法

(57)摘要

CN108414594A一种以不含蚀刻性溶剂制造的生物感测试片及其制作方法，先在一基板上形成一图样化待剥离层，该图样化待剥离层包含有一遮蔽区以及一镂空区，该镂空区具有一线路图案，接着在该图样化待剥离层的该遮蔽区以及该基板上溅镀一金属薄膜，再利用一非蚀刻性液体洗去该图样化待剥离层，将位于该遮蔽区上的该金属薄膜去除，使该金属薄膜形成一对应于该线路图案的检测线路，而后在