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- 2026-02-27 发布于重庆
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN101322076B
(45)授权公告日2011.03.16
(21)申请号200680042313.7
(22)申请日2006.11.09
(30)优先权数据
(51)Int.CI.
GO3F7/20(2006.01)
GO3F7/32(2006.01)
(56)对比文件
WO2004/095141A1,2004.11.04,全文.US4329422A,1982.05.11,全文.
US2003/0031948A1,2003.02.13,全文.WO2006/037716A1,2006.04.13,全文.WO2005/111727A1,2005.11.24,全文.US4370406A,1983.01.25,全文.
US4912021A,1990.03.27,全文.
US4190345A,1980.02.26,全文.
CN2075137U,1991.04.17,全文.
CN1487883A,2004.04.07,全文.
审查员孙曙旭
权利要求书1页说明书21页7
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