CN101419402B 一种硬质合金冲压模具的制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101419402B

(45)授权公告日2011.06.29

(21)申请号200810197859.0

(22)申请日2008.11.21

(73)专利权人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人李晓平史铁林陈建军汤自荣黄光陈志凌刘世元

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心

CN1731280A,2006.02.08,全文.

CN1556249A,2004.12.22,说明书第1页第18行一第3页第9行.

JP特开2004-286838A,2004.10.14,全文.JP特开2006-76020A,2006.03.23,全文.CN1710145A,2005.12.21,全文.

审查员李珍珍

42201

代理人方放

(51)Int.CI.

GO3F7/00(2006.01)

GO3F1/08(2006.01)

GO3F1/00(2006.01)

(56)对比文件

CN1138529A,1996.12.25,全文.

权利要求书1页说明书5页附图2页CN1731280A,2006.02.08,

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种硬质合金冲压模具的制作方法

(57)摘要

CN101419402B一种硬质合金冲压模具的制作方法，属于冲压模具的精细加工方法，克服现有技术在硬质合金表面制作模具条纹尺寸太大的问题，提高目前贵重金属货币、印章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。本发明包括涂胶步骤，曝光步骤，显影步骤，老化处理步骤，侧、背面保护步骤，刻蚀步骤，去胶步骤和镀铬步骤。本发明能缩短模具制作周期、降低成本，特别是能制作不同色彩、隐形图纹和微纳尺寸的文字等防伪图案，图纹线条最细可以达到nm(纳米)级，深度和宽度之比也能达到10:1,甚至更大；1mm(毫米)范围内，条纹

CN101419402B

%

%火

(B)

(E)

(G)

(C)

(D)

(A)

CN101419402B权利要求书1/1页

2

1.一种硬质合金冲压模具的制作方法，包括：

(1)涂胶步骤：模具在100℃~250℃温度下烘烤后，在模具表面均匀涂覆光刻胶，再烘烤，烘烤温度和时间依据光刻胶对应的参数确定；所述光刻胶为正性光刻胶或负性光刻胶，涂覆厚度0.5μm～260μm;

(2)曝光步骤：把制作好的光刻掩模板置于涂覆光刻胶的模具表面，用紫外光曝光方式将光刻掩模板图纹转移到光刻胶上，曝光能量依据生产商给出的该光刻胶需要的参数确定；正性光刻胶使用正性光刻掩模板，负性光刻胶使用负性光刻掩模板；

(3)显影步骤：用显影液将需要凹下部位的光刻胶冲掉，露出模具金属表面，留下需要凸出部位的光刻胶，用纯水清洗，氮气吹干，显影时间依据光刻胶生产商给出的参数确定；不同的光刻胶对应使用相应的显影液；

(4)坚膜步骤：对显影后模具表面留下的光刻胶进行老化处理，形成耐刻蚀保护层，老化处理的温度与时间依据光刻胶生产商给出的参数确定；

(5)侧、背面保护步骤：将模具侧面和背面用油漆涂敷；

(6)刻蚀步骤：采用干法刻蚀或湿法刻蚀对模具各部分分别进行刻蚀；干法刻蚀采用感应耦合刻蚀或反应离子刻蚀，刻蚀线条的宽度、深度，由刻蚀的时间，选用的气体种类，线圈功率，平板功率大小决定，选用的气体为Cl?、BCl?、Ar、SF?、CF?、0?中的一种或两种；湿法刻蚀的刻蚀剂为硝酸、盐酸、硫酸、铬酸中的一种；

(7)去胶步骤：用光刻胶对应的溶剂浸泡去模具，去除表面光刻胶，丙酮去除侧边油漆后，纯水冲洗，氮气吹干模具；

(8)镀铬步骤：用有机溶剂清洗模具，在模具表面镀铬，所述有机溶剂为丙酮、乙醇中的

一种或多种；

其特征在于：

所述刻蚀步骤采取干法刻蚀时，(A)所述涂胶步骤之前，先在抛光的模具表面镀镍，厚度为200nm～3μm;(B)在刻蚀步骤中，先用硝酸、盐酸、硫酸、铬酸中的一种去除显影后暴露出的镍层部分，然后再用干法刻蚀对模具进行刻蚀。

CN101419402B说明书