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TCAQI-半导体制程用深冷制氨设备技术要求.pdfVIP

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  • 2026-02-28 发布于上海
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TCAQI-半导体制程用深冷制氨设备技术要求.pdf

    附件1

    !CS

    ccs

    体

    团

    标准

    T/CAQIXXX-2026

    半导体制程用深冷制氨设备技术要求

    Technicalrequirementsforcryogenicnitrogenplantofsemiconductor

    processes

    （征求意见稿〉

    2026-XX-XX实施

    2026-XX-XX发布

    中国质量检验协会

    发布

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