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- 2026-02-28 发布于上海
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附件1
ICS
ccs
体
团
标准
T/CAQIXXX一2026
半导体用N一甲基-2-口tt~各院酣
N-Methyl-2-Pyrrolidoneforsemiconductoruse
(征求意见稿)
2026-XX-XX发布2026-XX-XX实施
中国质量检验协会发布
一3
目IJ~
本文件按照GB/丁l.l2020《标准化工作导则第l部分:标准化文件的结构和起草规则》的
规定起草。
请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由华兴中科标准技术(北京)有限公司提出。
本文件由中国质量检验协会归口。
本文件起草单位:
本文件主要起草人:
-4
半导体用N一甲基-2-日tt~各院自同
1范围
本文件规定了半导体用N一甲基-2-Prt咯皖酬的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、
运输和贮存。
本文件适用于由甲肢与y一丁内酶合成制得的N-甲基-2-口rt咯院自同,主要应用于集成电路的光
刻胶剥离与清洗过程。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的号|
用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件:不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修
改单)适用于本文件。
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3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4分类
半导体用\一甲基-2-11rt1噜炕酣(\JMP)按照技术规格分为Ll、L2级两种规格:
一Ll主要用于光真lj剥离工艺:
L2主要用于光衷lj显影后清洗工艺。
5技术要求
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