CN111542784B 具有倾斜周期性结构的计量目标及方法 （科磊股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111542784B

(45)授权公告日2025.05.06

(21)申请号201880085027.1

(22)申请日2018.11.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111542784A

(43)申请公布日2020.08.14

(30)优先权数据

62/617,0862018.01.12US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.07.01

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2018/0629312018.11.29(87)PCT国际申请的公布数据

WO2019