CN111755362B 基片处理装置及基片处理方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.51万字
  • 约 31页
  • 2026-03-01 发布于山西
  • 举报

CN111755362B 基片处理装置及基片处理方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111755362B

(45)授权公告日2025.05.02

(21)申请号202010221812.4

(22)申请日2020.03.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111755362A

(43)申请公布日2020.10.09

(30)优先权数据

2019-0678892019.03.29JP

(73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

(72)发明人吉田博司

(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322

专利代理师龙淳徐飞跃

(51)Int.

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档