CN101704499A 马赫曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101704499A

(43)申请公布日2010.05.12

(21)申请号200910185328.4

(22)申请日2009.11.05

(71)申请人南京邮电大学

地址210003江苏省南京市新模范马路66

号

(72)发明人涂兴华沈鹏梁忠诚徐宁黄舒舒

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

代理人叶连生

(51)Int.CI.

B81CB81CGO1C

1/00(2006.01)3/00(2006.01)19/64(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

马赫-曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片的制作方法

(57)摘要

CN101704499A微流控光学陀螺的工艺制作方法涉及一种新颖的基于微流控技术，用电控制信号进行操作的光学陀螺结构的集成化制作方法，该方法采用机械加工、制作PDMS微流控芯片、镀膜、封合来实现包含上盖板(11)、微型气泵层(12)、光波导层(13)和下底板(14)的夹心结构的集成制作，实现微流控光学陀螺芯片结构。集成化制作方法的主要步骤包括：光波导层的制作、微型气泵层的制作、镀膜和芯