原创力文档《光刻胶剥离液》
团体标准（征求意见稿）
编制说明
标准编制工作组
2026年1月
一、任务来源
当前，半导体与显示面板产业正处于技术迭代加速、市场规
模持续扩张的关键时期，光刻胶剥离液作为微电子制造过程中的
核心辅助材料，直接影响芯片制程精度、器件可靠性与产品良率。
随着5G通信、人工智能、高端显示等下游应用领域对半导体器
件集成度、显示分辨率的要求不断提升，市场对光刻胶剥离液的
剥离效率、选择性、兼容性及环境安全
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