半导体用六氟化硫和四氟化碳，全球前16强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdf

全球市场研究报告

半导体用六氟化硫（SF₆）是一种应用于半导体制造环节的人工合成含氟惰性气体，具备极高的化学稳定性

与优良的绝缘性能，可在腔体清洗、等离子体加工等特定工艺中充当清洗剂或介电质，作用是维持半导体制

造的工艺环境稳定性，避免制程中出现不必要的副反应。半导体用四氟化碳（CF₄）是一种作为半导体生产

核心蚀刻剂的全氟烷烃气体。在常温状态下化学惰性极强，但在等离子体环境中可产生具有活性的氟自由

基，能够对硅、二氧化硅等半导体材料实现高精度蚀刻，从而在晶圆表面形成符合工艺要求的微纳结构。

据QYResearch调研团队最新报告“全球半导体用六氟化硫和四氟化碳市场报告2025-2031”显示，预计

2031年全球半导体用六氟化硫和四氟化碳市场规模将达到6.5亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为

5.9%。

图.半导体用六氟化硫和四氟化碳，全球市场总体规模

GlobalMarketSize($Mn)

202020252031

来源：QYResearch半导体用六氟化硫和四氟化碳研究中心

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全球市场研究报告

图.全球半导体用六氟化硫和四氟化碳市场前16强生产商排名及市场占有率（基于2024年调研数据；

目前最新数据以本公司最新调研数据为准）

全球市场主要企业排名

Linde

Resonac

科美特（雅克科技）

TaiyoNipponSanso

KantoDenkaKogyo

福建德尔

AirLiquide

Merck

昊华科技

南大光电

金宏气体

DIGAirgas

永晶科技

SKSpecialty

华特气体

中氟能气体

来源：QYResearch半导体用六氟化硫和四氟化碳研究中心。行业处于不断变动之中，最新数据请联系QYResearch咨询。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内半导体用六氟化硫和四氟化碳生产商主要包括Linde、

Resonac、科美特（雅克科技）、TaiyoNipponSanso、KantoDenkaKogyo、福建德尔、AirLiquide、Merck、

昊华科技、南大光电等。2022年，全球前十强厂商占有大约85.0%的市场份额。

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图.半导体用六氟化硫和四氟化碳，全球市场规模，按产品类型细分，四氟化碳处于主导地位

MarketSize:2020Vs2024VS2031

四氟化碳六氟化硫

202020242031

20202021202220232024202420262027202820