CN102005485A 一种太阳能电池的多层减反膜以及其制作方法 （浙江首科科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102005485A

(43)申请公布日2011.04.06

(21)申请号201010504871.9

(22)申请日2010.10.12

(71)申请人浙江首科科技有限公司

地址315400浙江省宁波市余姚市阳明街道

旗山村谷家堰103号

(72)发明人朱军

(51)Int.CI.

HO1L31/0216(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

一种太阳能电池的多层减反膜以及其制作方法

(57)摘要

CN102005485A本发明公开一种太阳能电池的多层减反膜以及其制作方法，具体为：在太阳能电池窗口层生长一层5～40nm厚度的SiO?膜，再在SiO?膜上沉积50～100nm的减反膜，然后再在减反膜上面覆盖EVA和玻璃封装。该层减反膜是折射率在2.3～2.4左右的透光膜。本发明使TiO?为基础的减反膜具有钝化作用，同时又能兼顾组件封装后的减反效果，能够代替当前工业常用的SiNx单层减反膜，减反钝化效果可以与SiNx媲

CN102005485A

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