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半导体级高纯双氧水中痕量杂质元素的检测

蔡畅陈黎明/上海市计量测试技术研究院

摘要用高分辨电感耦合等离子体质谱测定半导体级高纯双氧水中的痕量金属杂质，用直接稀

释法，把高纯双氧水稀释10倍后，用标准加入法进行上机检测，前处理简单、快速，避免了在样

品前处理时的污染问题。高分辨电感耦合等离子体质谱可以消除多分子离子干扰，降低检出限，提

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高定量准确性。方法的检出限为0.34～15.36ng/L，加标法回收率为90.1～102.5。方法简单，

结果可靠，适用于高纯双氧水中痕量元素的快速测定。

关键词半导体级高纯双氧水；检测；杂质元素

0引言半导体级双氧水中超痕量杂质的分析。使得高纯双

随着半导体技术的迅速发展，对超净高纯试剂氧水样品的分析无需富集处理，从而减少了环境对

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的要求越来越高，超高纯度双氧水是电子工业中样品的沾污，提高了分析方法的可靠性和准确性。

一种十分重要的化学品，主要用于集成电路生产过