CN111863623B 一种多层超结半导体器件的制备方法 (上海维安半导体有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-04 发布于山西
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CN111863623B 一种多层超结半导体器件的制备方法 (上海维安半导体有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111863623B

(45)授权公告日2025.05.09

(21)申请号202010868843.9

(22)申请日2020.08.25

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111863623A

(43)申请公布日2020.10.30

(73)专利权人上海维安半导体有限公司

地址201323上海市浦东新区祝桥镇施湾

七路1001号2幢

(72)发明人任杰马治军苏海伟

(74)专利代理机构上海申新律师事务所31272专利代理师党蕾

(51)Int.Cl.

H10D30/

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