CN112567499B 用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法 （朗姆研究公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112567499B

(45)授权公告日2025.05.09

(21)申请号201980052566.X

(22)申请日2019.07.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112567499A

(43)申请公布日2021.03.26

(30)优先权数据

16/056,2602018.08.06US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.02.05

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2019/0437242019.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2020