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半导体制造中的中央化学液供应系统(CDS)技

术研究

半导体制造工艺与化学液供应概述

现代半导体制造是一个极其复杂的系统工程，从原材料硅锭到最终成品的

集成电路芯片，需要经历数百道精密加工工序。在这个过程中，化学工艺占据

了核心地位，据统计约有20%的工艺步骤涉及晶圆清洗和表面处理。随着半导

体技术节点的不断推进，特别是进入7nm以下制程后，对工艺化学品的纯

度、稳定性和输送精度都提出了前所未有的严格要求。

半导体制造过程中使用的化学品具有高度危险性，包括强酸、强碱、有机

溶剂等多种类型。这些化学品不仅要确保在输送过程中保持稳定的物理化学特

性，还需要实现精确的配比控制、温度管理和流量调节。因此，建立一套安全

可靠、精确可控的中央化学液供应系统(CentralChemicalDispense

System，简称CDS)成为半导体工厂不可或缺的基础设施。

CDS系统的核心功能与应用领域

中央化学液供应系统是为半导体生产线提供24小时不间断化学液输送的

关键系统。该系统通过高度自动化的控制方式，实现了化学溶液的自动补充、

精确配比和稳定输送。在现代化半导体工厂中，CDS系统与厂务动力系统、尾

气处理系统共同构成了支