CN112969818B 用于制备含硅和氮的膜的方法 （弗萨姆材料美国有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112969818B

(45)授权公告日2025.05.09

(21)申请号201980073853.9

(22)申请日2019.10.02

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112969818A

(43)申请公布日2021.06.15

(30)优先权数据

62/740,4782018.10.03US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.05.08

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2019/0542682019.10.02

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2020