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CN113013032B 一种用于在衬底上执行原子层蚀刻(ale)的方法 （朗姆研究公司）.docxVIP

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  • 2026-03-05 发布于山西
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CN113013032B 一种用于在衬底上执行原子层蚀刻(ale)的方法 （朗姆研究公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113013032B

    (45)授权公告日2025.05.09

    (21)申请号202110082157.3

    (22)申请日2017.03.01

    (65)同一申请的已公布的文献号

    (74)专利代理机构上海胜康律师事务所31263专利代理师李献忠邱晓敏

    (51)Int.Cl.

    H01L21/311(2006.01)

    H01L21/02(2006.01)

    H01L21/3065(2006.01)

    H01L21/3213(2006.01)

    H01L21/768(2006.01)

    C23C16/

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