CN106970437B 基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN106970437B公告日2019.07.16

(21)申请号201710321577.6

(22)申请日2017.05.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN106970437A

(43)申请公布日2017.07.21

(73)专利权人南京邮电大学

地址210000江苏省南京市鼓楼区新模范

马路66号

(72)发明人陆颢瓒王德波

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

代理人刘莎

(56)对比文件

CN

CN

CN

CN

103901520

105914180

106154382

102540302

A,2014.07.02,全文.A,2016.08.31,全文.A,2016.11.23,全文.A,2012.07.04,全文.

USJPUS

2009273841

2003162831

2002127497

A1,2009.11.05,全文.A,2003.06.06,全文.A1,2002.09.12,全文.

审查员吴迪

(51)Int.CI.

GO2B5/18(2006.01)

权利要求书1页说明书4