QuorumSEM低温样品传输系统PP3004 PP3005 PP3006用户手册.pdf

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PP3004QuickLok

用于SEM、FIB/SEM、束线(加速器)

和真空平台的环境温度气锁

特点:

快速的样品交换

真空和惰性气体保护下的样品传输

可现场改装到大多数系统上

可升级为CoolLok系统

可定制各种样品座

PP3005SEMCool

应用于SEM、FIB/SEM、束线(加速器)和真

空平台的冷冻载样台,但没有气锁换样装置

特点:

温度可降至-190℃,稳定度优于±0.5℃

分体式冷却系统,加满液氮后可运行一整天

独立的两路气体分别冷却冷台和冷阱

可升级为CoolLok系统

PP3006CoolLok

适用于S

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