CN113924640B 基板加工装置和基板加工方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-03-05 发布于山西
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CN113924640B 基板加工装置和基板加工方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113924640B

(45)授权公告日2025.05.06

(21)申请号202080039357.4

(22)申请日2020.05.14

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113924640A

(43)申请公布日2022.01.11

(30)优先权数据

2019-1048022019.06.04JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.11.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2020/0192992020.05.14(87)PCT国际申请的公布数据

WO202

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