摘要
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现代微电子元器件在提升性能的同时追求微型化和轻量化,这导致单位面积
的热量急剧增加。器件性能和可靠性受自身温度及热环境的直接影响,因此解决热
量耗散问题并延长微电子器件的使用寿命至关重要。微通道冷却技术因其高热耗
散和强化传热的优势,已成为解决高功率高热流密度散热问题的有效方案。本文结
合特斯拉阀型空腔降低压降和针肋促进流动的优点,提出了特斯拉阀型微通道,对
其传热与流动特性进行深入探究,并揭示流动沸腾增强换热
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