铌酸锌铋BZN薄膜：制备工艺与介电可调性能的深度剖析.docxVIP

铌酸锌铋BZN薄膜：制备工艺与介电可调性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代通信、雷达、卫星导航等微波技术的飞速发展，对微波介质材料的性能要求也日益提高。微波介质材料作为实现微波控制功能的基础和关键材料，其性能直接影响着微波器件的性能和应用范围。采用微波介质材料的谐振器与微波管、微带线等构成的微波混合集成电路，可使器件尺寸达到毫米量级，满足了现代电子设备小型化、集成化的发展需求。在众多微波介质材料中，铌酸锌铋（BZN，Bi?.?Zn?.?Nb?.?O?）以其独特的性能优势，在电可调微波集成器件方面展现出了广阔的应用前景。

BZN具有立方烧绿石结构，属于非铁电材料。其介电常