CN114600045B 感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法 （信越化学工业株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114600045B

(45)授权公告日2025.05.09

(21)申请号202080073517.7

(22)申请日2020.09.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114600045A

(43)申请公布日2022.06.07

(30)优先权数据

2019-1919912019.10.21JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.04.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2020/0360152020.09.24

(87)PCT国际申请的公布数据

WO202