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CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）.docxVIP

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  • 2026-03-08 发布于山西
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CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN111442740B

    (45)授权公告日2025.05.16

    (21)申请号202010428628.7

    (22)申请日2020.05.20

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111442740A

    (43)申请公布日2020.07.24

    (73)专利权人北京理工大学

    地址100081北京市海淀区中关村南大街5

    号

    (72)发明人赵维谦杨帅邱丽荣

    (74)专利代理机构北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)11639

    专利代理师张利萍

    (51)Int.Cl.

    G01B1

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