CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 (北京理工大学).pdfVIP

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  • 2026-03-08 发布于山西
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CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 (北京理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111442740B

(45)授权公告日2025.05.16

(21)申请号202010428628.7G01B11/30(2006.01)

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