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CN111415875B 半导体检测装置、检测方法及半导体带有工艺腔的装置 （紫创(南京)科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-08 发布于山西
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CN111415875B 半导体检测装置、检测方法及半导体带有工艺腔的装置 （紫创(南京)科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN111415875B

    (45)授权公告日2025.05.16

    (21)申请号201910670912.2

    (22)申请日2019.07.24

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111415875A

    (43)申请公布日2020.07.14

    (73)专利权人紫创(南京)科技有限公司

    地址211800江苏省南京市浦口区桥林街

    道步月路29号12幢_373

    (72)发明人李海鹏

    (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

    专利代理师吴敏

    (51)Int.Cl.

    H01L

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