现有陶瓷基板制造技术.pptVIP

第一节陶瓷基板概论;1、氧化铝基板

（1）Al2O3陶瓷的基本性质

优良的机械强度；

良好导热特性，适用于高温环境；

具有耐抗侵蚀和磨耗性；

高电气绝缘特性。

;良好表面特性，提供优异平面度与平坦度；

抗震效果佳；

低曲翘度；

高温环境下稳定性佳；

可加工成各种复杂形状。

;（2）Al2O3晶体结构

具有多种同质异晶体;

a(三方)、b(六方)、g(四方)、h(等轴)、r(晶系未定)、χ(六方)、κ(六方)、δ(四方)、θ(单斜)-Al2O3等10多种变体；

主要有a(三方)、b(六方)、g(四方)相；

a-Al2O3为高温稳定相，工业上使用最多。

;a-Al2O3;（3）Al2O3陶瓷的分类及性能

;*;（4）Al2O3陶瓷原料生产

;（5）Al2O3陶瓷基板制作方法

(a)Al2O3陶瓷成型

助烧剂

厚膜用：Al2O3-SiO2-MgO、CaO，提高金属化层的浸润性；

薄膜用：0.2w%MgO,得到密度高、表面平滑基板，MgO抑制烧成时Al2O3颗粒长大（Cr2O3抑制MgO表面蒸发）。

;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;AlN晶体结构

;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;谢谢大家！