CN105988311B 一种对准图形及其制作方法 （中芯国际集成电路制造(上海)有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105988311B公告日2018.03.16

(21)申请号201510094928.5

(22)申请日2015.03.03

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105988311A

(43)申请公布日2016.10.05

(73)专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址201203上海市浦东新区张江路18号

(56)对比文件

CN103529658A,2014.01.22,CN101900947A,2010.12.01,CN1379445A,2002.11.13,

US2002/0001761A1,2002.01.03,US2006223270A1,2006.10.05,

审查员邱明惠

权利要求书1页说明书4页附图3页

(72)发明人李兵

(74)专利代理机构

代理人董巍

章国伟

北京市磐华律师事务所11336

高伟

(51)Int.CI.

GO3FHO1L

9/00(2006.01)

23/544(2006.01)

(54)发明名称

一种对准图形及其制作方法

(57)摘要

CN105