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- 2026-03-09 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN111451942B
(45)授权公告日2025.05.16
(21)申请号202010462799.1
(22)申请日2020.05.27
(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111451942A
(43)申请公布日2020.07.28
(73)专利权人东莞市欧莱溅射靶材有限公司地址523000广东省东莞市厚街镇汀山村
汀山路121号
专利权人广东欧莱高新材料股份有限公司合肥欧莱高新材料有限公司
(72)发明人文宏福郭文明
(74)专利代理机构北京天盾知识产权代理有限公司114
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