年产10万吨硅烷法多晶硅生产工艺设计-大纲+开题报告.docxVIP

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年产10万吨硅烷法多晶硅生产工艺设计（大纲）和开题报告

摘要

Abstract

1多晶硅简介

1多晶硅简介

1.1多晶硅的性质

1.2多晶硅的分类

1.3多晶硅的用途

1.4多晶硅的包装与贮运

2设计要求和工艺确定

2.1设计要求

2.2生产方法选择

2.1.1改良西门子法

2.1.2硅烷法

2.1.3流化床法

2.1.4冶金法

2.1.5生产方法的评价与选择

2.3工艺参数确定

2.3.1基本原理

2.3.2工艺条件分析

2.3.3工艺参数确定

3物料衡算

3.1还原炉的物料衡算

3.2流化床的物料衡算

3.3精馏塔的物料衡算

3.4物料衡算一览表

4工艺设备计算与设计

5.1还原炉

5.1.1底盘

5.1.2炉体

5.1.3还原炉体积

5.1.4筒体厚度确定

5.2流化床反应器

5.2.1流化床反应器体积

5.2.2流化床结构

5.3精馏塔

5.3.1精馏原理

5.3.2理论板数的求取

5.3.3实际板层数的求取

5.3.4塔高的计算

5设备选型

5.1反应设备选型

5.2分离与提纯设备选型

5.3辅助设备选型

6安全与环保

6.1多晶硅生产过程中化学物质的危险特性

6.2工艺过程危险、有害因素分析

6.3中毒、窒息事故危险、有害因素

6.4意外事故的发