CN104993199A 一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104993199A

(43)申请公布日2015.10.21

(21)申请号201510478314.7HO1P11/00(2006.01)

(22)申请日2015.08.07

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新西区西源大

道2006号

(72)发明人许向东范凯蒋亚东敖天宏姚洁陈哲耕邹蕊矫王蒙谷雨戴泽林孙铭徽

(74)专利代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230

代理人杨保刚晏辉

(51)Int.CI.

权利要求书2页说明书8页附图7页

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法

(57)摘要

CN104993199A本发明公开了一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法，滤波器由下至上依次包括一层或多层的非晶介质薄膜和一层或多层的金属薄膜，其中，所述的非晶介质薄膜被刻蚀成方型或圆型当中的一种的周期性图形结构；所述的金属薄膜直接附在非晶介质薄膜