CN105474398B 电极对、其制作方法、器件用基板以及器件 （国立研究开发法人科学技术振兴机构）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105474398B公告日2018.11.13

(21)申请号201480047142.1

(22)申请日2014.03.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105474398A

(43)申请公布日2016.04.06

(30)优先权数据

JP2013-1856502013.09.06JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2016.02.25

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2014/0560812014.03.09

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2015/033600JA2015.03.12

(73)专利权人国立研究开发法人科学技术振兴机构

地址日本国琦玉县川口市

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

代理人梁海莲余明伟

(51)Int.CI.

HO1L29/66(2006.01)

B82B3/00(2006.01)

B82Y30/00(2006.01)

HO1L29/06(2006.01)

HO1L29/417(2006.01)

HO1Q19/06(2006.01)

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