CN105203019A 一种柔性有源压力应变传感器结构及其制作方法 （上海集成电路研发中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN105203019A布日2015.12.30

(21)申请号201510678839.5

(22)申请日2015.10.19

(71)申请人上海集成电路研发中心有限公司

地址201210上海市浦东新区上海浦东张江

高斯路497号

(72)发明人胡少坚陈寿面郭奥

(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275

代理人

(51)Int.CI.

GO1B

GO1L

HO1L

HO1L

HO1L

吴世华尹英

7/16(2006.01)1/16(2006.01)51/05(2006.01)

51/30(2006.01)

51/40(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种柔性有源压力/应变传感器结构及其制作方法

205204203201202204205

2052042032012